晶瑞电材（300655）：业务横跨光刻胶材料与设备，除了实现 KrF/ArF 光刻胶量产，还为光刻环节供应显影设备，该设备是光刻胶曝光后成像的关键配套设备，可完成光刻胶未曝光部分的溶解显影，形成设备与材料协同的竞争优势。 海立股份（600619）：其控股子公司海立特冷专注于制冷系统领域，销售的光刻机用冷却系统是光刻胶设备稳定运行的重要辅助设备。光刻工艺及光刻胶反应过程对温度敏感，该冷却系统能精准控制设备运行温度，保障光刻胶成像质量和设备使用寿命。 福晶科技（002222）：公司不仅为 ASML、上海微电子供应光刻机核心部件激光晶体，还涉足光刻胶检测模块的研发。该检测模块可用于光刻胶涂覆厚度、缺陷等关键指标的检测，是保障光刻胶应用效果的重要配套设备，助力提升光刻工艺良率。 盛剑科技（603324）：公司聚焦半导体工艺废气治理和晶圆清洗等领域，其光刻胶配套的清洗设备及相关耗材，可保障光刻胶涂覆前晶圆表面的洁净度，间接提升光刻胶的成像精度，是光刻胶应用环节的重要配套设备供应商，合作客户覆盖国内主流半导体厂商。 芯源微（688037）：作为半导体湿法设备龙头，公司联合研发光刻机涂胶显影设备，该设备是光刻胶涂覆和显影环节的核心设备，同时还能提供光刻胶工艺测试服务，助力光刻胶与设备的工艺适配，其产品已适配国内多条半导体产线需求。 芯碁微装（688630）：公司在微纳直写光刻技术上处于领先水平，旗下相关光刻设备可适配特定光刻胶应用场景，能满足部分细分领域中光刻胶的涂覆、曝光等工艺配套需求，实现了光刻设备与光刻胶在细分场景的协同落地。 |
