一、宇航级/电子级高纯氙气（6N+/5N+，高壁垒） 1.杭氧股份（002430） 核心业务：全球最大氪氙精制中心，2021年攻克6N+宇航级氙气（纯度≥99.9999%），突破气瓶颗粒度瓶颈。产能/客户：氙气年产能约75吨，国内航天氙气主力供应商，已配套朱雀二号等型号；半导体用5N+氙气进入头部晶圆厂供应链。壁垒：精馏/纯化/充装全流程自研，能耗低、批次稳定性强，空分气源保障充足。 2.凯美特气（002549） 核心业务：电子特气龙头，生产5N氙气与6N航天级氙气，岳阳基地拥有国内首套电子级稀有气体精制装置。产能/客户：2024年氙气产能38吨，计划2026年前扩至60吨以上；通过中芯国际、长江存储认证，部分产品小批量供应。壁垒：石化尾气回收闭环生产，成本优势显著，光刻气相关产品获ASML子公司Cymer认证。 3.中泰股份（300435） 核心业务：唐山精制氪氙气体项目稳定运行，量产5N+高纯氙气。产能/客户：氪氙联产，氙气产能配套半导体、航空航天、原子能领域需求。壁垒：深冷分离+稀有气体提纯技术成熟，国内少数掌握氪氙规模化制取能力的企业。 4.中船特气（688146） 核心业务：电子特气国家队，生产5N+电子级氙气，适配半导体光刻、刻蚀环节。背景：中国船舶718所技术，全流程质控严格，杂质控制达ppb级，进入境外先进制程供应链。 二、工业级/配套氙气（4N-5N，规模配套） 1.河钢股份（000709） 核心业务：2017年打破国外垄断，产出首瓶航天级氙气，微水≤0.1ppm。客户：供应实践二十号等卫星，稀有气体分离技术领先，适配电推长寿命需求。 2.昊华科技（600378） 核心业务：特种气体龙头，6N级氙气提纯技术成熟，配套航天与半导体。定位：全流程质控，杂质控制达ppb级，与航天院所深度合作，提供稳定供应。 3.金宏气体（688106）/华特气体（688268） 核心业务：生产4N-5N工业级/高纯氙气，覆盖半导体、面板、医疗领域。优势：全品类气体布局，客户覆盖广，国产替代推进中。 |
