六氟化钨功效用途 六氟化钨，无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。主要用于钨的化学蒸镀，用作氟化剂。 六氟化钨主要用途：WF6是一种强氟化剂，可用于气相沉积法制钨膜；在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨，以制作低电阻、 高熔点的互连线。 生产六氟化钨上市公司 六氟化钨概念股一览如下： 1、中船特气(688146) 中船特气11月8日于机构调研时表示，三氟化氮产品目前国产化率较高，保守估计在70%左右。受下游客户稼动率影响，近期，国内三氟化氮产品竞争充分，从行业板块来看，显示面板行业比集成电路行业竞争相对激烈。公司六氟化钨产品生产过程中使用的三氟化氮全部为公司自产，暂不存在外购的情况。 2、昊华科技（600378，沪市主板）央企（中国中化），旗下昊华气体。产能：约700 吨 / 年，6N 级量产。客户：已打入三星、台积电供应链。 3、南大光电（300346，创业板）通过收购山东飞源气体进入。产能：内蒙古乌兰察布500 吨 / 年（稳定投产）。客户：华虹等国内晶圆厂。 4、中巨芯（688549，科创板）产能：600 吨 / 年，计划扩至 800 吨。进度：产品进入14nm制程验证。 5、和远气体（002971，中小板）产能：规划500 吨 / 年（6N 级）。状态：2025 年 4 月起试生产，2026 年 4 月结束试生产。认证：已进入半导体验证阶段。 6、华特气体（688268，科创板）已研发量产六氟化钨。通过多家国内晶圆厂认证并批量供货。 7、金宏气体（688106，科创板）已实现半导体级规模化量产。供应国内主流晶圆厂。 8、雅克科技（002409，中小板）收购成都科美特、浙江博瑞中硝。产能：一期500 吨 / 年已投产。 |
