近日，北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授团队及合作者通过冷冻电子断层扫描技术，首次在原位状态下解析了光刻胶分子在液相环境中的微观三维结构、界面分布与缠结行为，指导开发出可显著减少光刻缺陷的产业化方案。相关论文近日刊发于《自然·通讯》。 北京大学团队此次突破的意义在于，通过冷冻电子断层扫描技术“定格”并三维重构了光刻胶分子在显影液中的真实状态（分辨率优于5纳米），首次发现导致缺陷的根源是光刻胶聚合物在气液界面缠结形成的约30纳米团聚颗粒。基于此，团队提出提高曝光后烘烤温度、优化显影工艺两项解决方案，使12英寸晶圆缺陷数量降幅超99%，且方案与现有产线兼容，无需设备改造即可直接应用。该研究不仅破解了高端制程良率瓶颈，其方法论更为蚀刻、清洗等湿法工艺的缺陷控制提供了通用工具，有望推动整个芯片制造链条的精细化调控。 光大证券分析称，该研究不仅破解了高端制程良率瓶颈，其方法论更为蚀刻、清洗等湿法工艺的缺陷控制提供了通用工具，有望推动整个芯片制造链条的精细化调控。 展望后市，锐观产业研究院报告，2024年我国光刻胶市场规模增长至114亿元以上，KrF光刻胶等中高端产品国产替代进程加快，预计2025年光刻胶市场规模可达123亿元。 落脚到A股市场，光大证券认为，光刻胶是目前最迫切需实现国产化的战略材料，EUV光刻胶则代表下一阶段制高点，关注目前国内半导体光刻胶进展较快的公司。 光刻胶领域重大国产突破，打开百亿级国产替代市场空间（受益概念股）如下: 1、彤程新材(603650) 彤程新材(603650)在互动平台表示，截止目前，中间体树脂尚未出现断供情况。公司也努力研发上游光刻胶材料，部分光刻胶所用树脂材料目前已具备自主供应能力。相关树脂品类还在研发和推进中。 2、八亿时空(688181) 八亿时空(688181)在互动平台表示，公司光刻胶业务进展顺利。光敏聚酰亚胺面板光刻胶开发处于小试开发阶段，目前已打通光敏聚酰亚胺树脂合成的关键技术问题，准备进行中试验证。KrF光刻胶关键原料PHS树脂方面：窄分布树脂已完成实验室工艺开发，准备推进中试工艺验证；宽分布树脂完成客户送样，准备推进扩大产能。 3、南大光电(300346) 公司ArF光刻胶验证通过，国产替代缺口下静待公司量产突破。 4、广信材料(300537) 公司目前平板显示光刻胶产品仅在部分下游客户获得了小批量销售订单（累计实现销售数量约900余加仑，约3.8吨），目前尚处在起步的市场开拓阶段，产量及销售规模整体不大。公司本次募投项目平板显示光刻胶、集成电路光刻胶及配套试剂规划产能分别为2000吨/年和5000吨/年，后期可能存在平板显示光刻胶、集成电路光刻胶及配套试剂客户验证导致的市场开拓风险及相关产能消化风险等；公司进入新能源汽车涂料等应用领域尚处于起步阶段，未来是否能快速打开市场尚存在不确定性，短期内还无法完全覆盖公司涂料板块因重要客户订单大幅减少影响的收入。 5、雅克科技(002409) 雅克科技公告称，目前半导体材料项目对公司来说是非常重要的事情。预计今年年底光刻胶产品将全面满产。前驱体产品中有一个产品由于韩国场地限制已经满产，目前已在国内进行产能扩建。由于客户和相关需求的增多，上游材料的合成能力达到瓶颈，因此公司半导体材料项目工厂建设完成投产后能快速满足相关需求。后续，公司也会注重培养技术人才，加强国内外研发团队的沟通交流。 6、晶瑞电材(300655) 晶瑞电材消息，7月5日，苏州瑞红KrF光刻机及配套设备顺利搬入实验室。本次光刻机的顺利搬入将为公司KrF光刻胶的产品开发及生产品质管控提供强有力的保障，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，对于提高公司可持续发展能力具有重大意义。 7、高盟新材(300200) 有投资者向高盟新材(300200)询问，公司参股的科华微电子是目前国内唯一拥有并正常使用荷兰ASML光刻机的光刻胶公司，是国内光刻胶龙头，是否属实？高盟新材11月8日回应称，经确认属实 8、强力新材(300429) 强力新材是国内少数有能力深耕光刻胶专用电子化学品领域的国家火炬计划重点高新技术企业，主要从事电子材料领域各类光刻胶专用电子化学品的研发、生产和销售及相关贸易业务。公司主要产品为光刻胶专用电子化学品，按照应用领域分类，主要有印制电路板（PCB）光刻胶专用电子化学品（包括光引发剂和树脂）、液晶显示器（LCD）光刻胶光引发剂、半导体光刻胶光引发剂及其他用途光引发剂四大类。 9、江化微(603078) 公司主要从事超净高纯试剂、光刻胶及光刻胶配套试剂等专用湿电子化学品的研发、生产和销售业务。 10、容大感光(300576) 公司是国内研发制造光刻胶的领先企业，关于光刻胶及特种油墨在国内的排名，目前尚未查到公开的权威的第三方统计数据。 |
