生产碳化硅设备的A股上市公司 晶盛机电（300316）：国内碳化硅晶体生长设备龙头，碳化硅长晶炉市占率处于行业领先地位，覆盖长晶、切割、外延全链条设备需求。公司8英寸外延设备国产化率超80%，12英寸设备研发同步推进，自主研发的磁控直拉法长晶技术可将单晶生长周期缩短至180小时，设备已供应天岳先进、露笑科技等国内衬底龙头，2024年净利润45.58亿元，同比增长55.85%，受益于全行业扩产，是设备国产化替代核心标的。 北方华创（002371）：国内半导体设备平台型龙头，产品线覆盖碳化硅长晶炉、刻蚀机、PVD、热处理等芯片制造关键设备，具备300台/月的6英寸SiC长晶炉交付能力，8英寸SiC长晶设备已开发3种机型，部分设备进入客户验证阶段，完成对芯源微的并购后实现涂胶显影、清洗设备全覆盖，国产设备占比持续提升，是国内SiC产线设备主力供应商。 晶升股份（688478）：专业晶体生长设备供应商，推出SCML320A系列水平式8英寸碳化硅外延炉，电阻法碳化硅单晶炉解决长晶过程“可视化”难题，设备采用独立双腔体架构，融合多区独立进气控制与智能温场系统，实现6英寸与8英寸晶圆的高兼容性生产，外延层厚度均匀性稳定在1%以内，掺杂均匀性达2%以内，缺陷密度≤0.1c㎡，已交付龙头客户并获复购。 高测股份（688556）：金刚线切片设备技术领先，产品供应天岳先进、三安光电等头部衬底厂商，其碳化硅切割设备切割效率提升30%，可满足6-8英寸碳化硅衬底的高效切割需求，有效提升衬底切割良率，助力企业降低生产成本，伴随碳化硅产能扩张，设备需求持续增长。 东尼电子（603595）：布局碳化硅切割、研磨等加工设备及耗材，其碳化硅专用切割丝、研磨液等产品性能优异，适配碳化硅衬底加工流程，与国内主流衬底厂商建立合作关系，随着碳化硅产业规模扩大，相关设备及耗材业务有望持续拓展。 |
