串列型高能氢离子注入机是功率半导体与第三代半导体制造的核心设备，A 股中直接布局整机及核心相关业务的上市公司主要有以下几家，按业务关联紧密程度说明： 一、整机核心标的 万业企业（600641）：旗下凯世通是国产离子注入机龙头，已构建覆盖低能大束流、高能、中束流、氢离子及第三代半导体专用机型的全谱系产品矩阵，工艺可适配功率半导体、先进逻辑、存储等领域。其与中核集团在技术协同上具备优势，中核集团首台串列型高能氢离子注入机（POWER - 750H）的突破，有望加速凯世通高能机型的商业化与验证进程，凯世通累计已向十余家重点晶圆厂交付近 50 台设备，12 英寸晶圆产品片过货量超 1000 万片。 北方华创（002371）：国内全栈半导体设备龙头，2025 年正式进军离子注入机市场，发布多款 12 英寸机型，依托等离子体控制、射频技术等积累，核心指标接近国际先进水平，束流传输效率超 90%，可满足 3D NAND 存储、功率半导体等高端注入需求，在串列型高能技术突破带动下，其离子注入机业务拓展与国产化替代进程将进一步提速。 华海清科（688120）：通过收购芯嵛半导体切入离子注入机领域，12 英寸大束流离子注入机已实现批量交付，在高能与深穿透注入工艺上有技术储备，可匹配功率半导体等对高能氢离子注入的需求，受益于行业技术突破与国产替代浪潮。 二、核心零部件配套标的 新莱应材（300260）：为离子注入机提供超高洁净真空腔体、阀门、管道等核心零部件，是该类零部件的重要国产供应商，串列型高能氢离子注入机的量产将带动其相关零部件需求增长。 |
