以下是生产碳化硅高温热处理设备（含长晶炉、退火炉、CVD 沉积炉等，适配衬底生长、外延、器件制造等核心环节）的 A 股上市公司，核心信息如下： 北方华创（002371）：平台型半导体设备龙头，可提供碳化硅长晶炉、高温退火炉、氧化炉等关键热处理设备，覆盖衬底生长、外延、器件制造全流程，设备已批量交付头部客户，8 英寸碳化硅长晶机型与热处理设备技术领先，适配车规级、工业级碳化硅器件量产需求。 晶盛机电（300316）：碳化硅长晶炉（高温热处理核心设备）龙头，市占率领先，覆盖长晶、切割、外延全链条设备，自研电阻法碳化硅单晶炉适配 6-8 英寸衬底生产，设备交付天岳先进、三安光电等头部厂商，同时布局 8 英寸及 12 英寸多晶碳化硅设备，支撑大尺寸衬底国产化。 楚江新材（002171）：控股子公司顶立科技是碳化硅高温热工装备核心供应商，提供碳化硅单晶炉、CVD 沉积炉、高温烧结炉等，技术打破国外垄断，为三安、天岳等头部衬底企业提供设备，同时布局碳陶复合材料热工装备，适配第三代半导体材料制备需求。 露笑科技（002617）：布局碳化硅长晶炉（高温热处理核心设备），自主研发感应加热式碳化硅长晶炉，适配 6 英寸导电型碳化硅衬底量产，已建成碳化硅衬底生产线，设备与材料协同发展，客户涵盖新能源汽车电控等领域头部企业。 高测股份（688556）：提供碳化硅晶锭切割、磨抛等后道高温热处理配套设备，金刚线切片设备适配碳化硅晶锭高效切割，切片良率行业领先，客户包括天岳先进、三安光电等头部衬底厂商，支撑碳化硅衬底加工环节效率提升。 |
