凯美特气进入ASML子公司Cymer光刻气产品供应商名单 凯美特气2月2日午间公告，控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司于2023年2月2日收到ASML子公司Cymer公司发来的合格供应商认证函。凯美特电子特种气体公司生产的光刻气产品通过了Cymer公司审查，Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。 产品组合包括使用氟化氩（ArF）或氟化氪（KrF）气体产生深紫外光的准分子激光器，产品主要特性包括带宽窄、运行速度高、可靠性强。据介绍，ASML子公司Cymer是世界领先的准分子激光源提供商，是深紫外技术的行业领导者，是ASML集团内一家独立运营的企业。在批量生产符合特定规格的全球先进半导体芯片时，Cymer光源起着重要作用。 |
