光刻机零部件供应商上市公司 光刻机零部件供应商概念股一览如下： 1、旭光电子（600353） 据2025年3月29日业绩说明会，公司电子管作为大功率射频电源的核心器件，具有负载能力强、能接受大功率环境的特点。公司作为国际先进的大功率电子管生产企业，已生产定型百余种的全系列产品。目前部分产品已在可控核聚变及光刻机领域实现销售供货。 2、688409富创精密 公司已进入全球光刻机龙头ASML供应链体系。 3、002338奥普光电 公司2021年6月9日在投资者互动平台表示，大股东长光所研发光刻机的曝光系统，曝光系统是光刻机的一个核心部件。 4、688167炬光科技 公司光场匀化器性能卓越，应用于国内主要光刻机研发项目和样机中，进入ASML、台积电等厂商的供应链 |
