目前广泛使用的晶圆清洗工艺为湿法清洗，采用湿法清洗机进行。采用特定化学试剂和去离子水，对硅片无损清洗，去除制造过程中颗粒、自然氧化层、有机物、金属污染、牺牲层、抛光残留物等物质。 半导体清洗设备上市公司 半导体清洗设备概念股一览如下： 1、002371北方华创 公司可提供多种类型的单片清洗设备和槽式清洗设备，已广泛应用于集成电路、半导体照明、先进封装、微机电系统、电力电子、化合物和功率器件等领域。 2、300724捷佳伟创 2021年9月29日，公司发布定增预案，募资投向光伏电池设备扩产和半导体设备研发，其中6.5亿元投向先进半导体装备研发项目，致力于实现湿法清洗设备的规模化生产，并构建半导体湿法及气相沉积设备供给线。 3、301297富乐德 公司主营业务是泛半导体领域设备洗净及衍生增值服务，具体包括：半导体设备洗净服务等。 4、603690至纯科技 至纯科技是单片式清洗机的后进入者，但团队技术实力强。目前在国内市场，各晶圆代工厂主要产线依旧集中在14nm以上，至纯科技刚切入单片式领域，主要是定制个性化单片式清洗设备，目前足以满足各代工厂的需求。 5、688037芯源微 公司单片式湿法设备产品包含清洗机。 6、688082盛美上海 公司主要产品为半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备。 7、688729屹唐股份 公司主营产品包括干法去胶设备 8、*ST和科（002816） 据2025年7月15日业绩预告，公司预计2025年中报净利润-480万元至-280万元，同比减亏78.78%至87.62%，主要因清洗设备业务营收及毛利显著增长。 据2024年年度报告，公司收购子公司切入半导体清洗业务领域，作为战略级增长方向。公司主营精密清洗设备及水处理设备，2023年新增新能源、汽车、储能、光伏及工业机器人线束业务，在2024年半年度已获1,407.59万元收入，客户涵盖动力电池、储能、医疗器械等领域。 |
