当前 A 股中明确生产静电卡盘并实现相关产品量产或推进研发的上市公司主要有珂玛科技、华卓精科，另有鼎龙股份曾布局该业务后已剥离，具体情况如下： 1、珂玛科技（301611） 珂玛科技11月12日在互动平台表示，公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造（包括存储芯片）前道工艺设备，目前已进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等多种设备。截至目前，公司12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产，12寸多区加热静电卡盘已完成产品开发，公司正积极推进其验证进程。 2、华卓精科（688120） 公司长期聚焦纳米级超精密测控技术，以光刻机双工件台为核心产品，同时依托核心技术开发了包括静电卡盘在内的多款衍生部件产品。其业务覆盖集成电路制造等多个行业，静电卡盘作为公司超精密部件布局的一部分，适配集成电路制造相关设备，与公司的精密运动系统、隔振器等产品共同构成了完善的超精密部件供应体系。 3、鼎龙股份（300054） 公司曾在 2022 年底计划通过全资子公司拓展静电卡盘业务，但因静电卡盘研发周期长、后续产业化投入大且不确定性高，为聚焦半导体创新材料主业，于 2023 年 10 月将静电卡盘相关的研发及评价等设备资产出售给关联方，目前已不再涉足静电卡盘业务领域。 |
