乙硅烷是半导体制造等领域的关键材料，当前多家 A 股上市公司已通过量产、试生产或研发等形式布局该产品，具体企业及进展如下： 多氟多（002407）：作为国内较早实现乙硅烷产业化的企业，其 2022 年就建成国内首条电子级乙硅烷生产线，产能达 100 吨 / 年，该项目还入选国家 “强基工程” 重点技术攻关专项。其乙硅烷产品已通过台积电供应商体系认证，且在 2025 年上海国际半导体展上重点展示了该产品，同时还进入三星、中芯国际等高端半导体企业供应链，技术与产品认可度较高。 万华化学（600309）：旗下烟台万华电子材料有限公司自主研发的乙硅烷产线已一次性投料开车试产成功。公司在建年产 140 吨硅烷类产品生产线，其中乙硅烷设计产能为 50 吨 / 年，试产的乙硅烷纯度达到 5N 级别，性能达到国际先进水平，打破了此前全球乙硅烷产能主要由日本、美国企业主导的格局。 和远气体（002971）：公司在宜昌电子特气及功能性材料产业园规划了乙硅烷等电子特气产品。截至 2025 年第三季度末，该产业园规划的乙硅烷等产品正处于分批试生产阶段，预计 2025 年内逐步实现 “投产 - 稳产” 的目标，投产后将进一步完善公司电子特气产品矩阵。 金宏气体（688106）：公司将高纯乙硅烷列为重点研发项目之一，该研发聚焦半导体行业急需材料，旨在破除国外企业对国内相关电子气体的垄断。目前公司已具备超纯氨、高纯氧化亚氮等多种电子级超高纯气体的进口替代能力，其乙硅烷研发进展将助力其进一步丰富半导体领域特种气体产品线。 华特气体（688268）：乙硅烷是其布局的半导体制造气相沉积薄膜用关键气体之一。公司在特种气体领域深耕多年，诸多产品已实现进口替代，涵盖高纯四氟化碳、光刻气等多个半导体所需气体品类，凭借成熟的气体提纯与生产技术积累，为乙硅烷的研发及后续产业化奠定了坚实基础。 |
