三氯化硼常用于半导体等领域的刻蚀、掺杂工艺，当前有 1 家 A 股上市公司已实现该产品量产，还有 1 家处于在研阶段，另有 1 家企业曾实现产业化但未成功登陆 A 股，具体情况如下： 中船派瑞特气（688433）：作为 A 股电子特种气体领域的核心企业，公司在 2024 年拓展了高纯三氯化硼等无机类气体产品，其生产的高纯三氯化硼纯度可达 5N 级别，主要用于硅、氮化硅、二氧化硅等材料的刻蚀以及掺杂工艺。同时公司还有年产 735 吨高纯三氯化硼产品纯化的募投项目，且已取得环评，后续产能有望进一步提升。 深圳新星（603978）：公司当前并未实现三氯化硼的量产，该产品属于其在研产品范畴。此外，公司还有三氟化硼添加剂、氟硼酸锂添加剂等多个新材料相关在研产品，后续若三氯化硼研发完成并产业化，将丰富其新材料产品矩阵。 华特气体11月18日在互动平台表示，2025年，公司加速推进乙硅烷、溴化氢、三氯化硼等高端电子特气新产品的成果转化和认证进程，目前，公司新产品乙硅烷、溴化氢、三氯化硼均已经产生销售订单，实现成果转化。 |
