生产玻璃基板设备上市公司 玻璃基板设备概念股一览如下： 一、半导体TGV玻璃基板核心加工设备（AI先进封装玻璃载板，当前高景气） 1.TGV激光钻孔/微孔设备（最核心、壁垒最高） 帝尔激光（300776） TGV设备龙头，同时覆盖晶圆级+面板级玻璃基板激光打孔，最小孔径3μm、深宽比150:1，已批量供货沃格光电、京东方，进入英伟达、英特尔供应链，2026年TGV设备订单规模领先行业。 海目星（688559） 国内唯一激光+湿法刻蚀全链条自研TGV设备商，整片基板通孔良率98.5%以上，适配8/12英寸玻璃晶圆，订单增长迅猛。 德龙激光（688170） 掌握LIDE激光诱导深度刻蚀技术，超薄玻璃无损微孔加工，TGV设备小批量出货，绑定海外头部封测客户。 大族激光（002008）/大族数控（301200） 全品类激光平台，提供玻璃基板打孔、切割、开槽成套激光设备，多家基板厂认证通过，已获批量订单。 华工科技（000988） 超快激光全工序方案，覆盖玻璃基板打孔、开槽、表面精雕，适配12英寸半导体玻璃基板加工。 2.金属化/镀膜/电镀配套设备（TGV通孔导电必备） 北方华创（002371） PVD磁控溅射设备龙头，用于玻璃基板通孔沉积导电种子层，玻璃基混合键合设备国内领先。 盛美上海（688085） 单片式电镀、清洗设备，TGV孔内镀铜核心国产设备，批量供货国内头部封测厂。 汇成真空（301392） 真空镀膜、ALD原子层沉积设备，适配玻璃基板表面金属化工艺。 3.键合、光刻、检测配套设备 晶盛机电（300316）：12英寸晶圆对晶圆高精度键合设备，适配玻璃基板压合工艺。 中微公司（688012）：ICP刻蚀设备，玻璃基板辅助微刻蚀加工。 洪田股份（001227）：TGV专用微纳直写光刻设备，具备批量供货能力。 二、LCD/OLED显示玻璃基板整线/加工设备（传统面板玻璃产线） 1.显示基板整线自动化设备 联得装备（300545） 国内LCD/OLED玻璃基板、模组自动化整线设备龙头，提供玻璃切割、清洗、贴合、检测全套设备，供货京东方、TCL华星等面板厂，同时布局玻璃基MicroLED产线设备。 2.玻璃原片生产配套设备（溢流法基板熔制设备） 东旭光电（000413）：自产高世代玻璃基板熔窑、溢流成型全套核心装备，配套自有G5/G6/G8.5代基板产线。 凯盛科技（600552）：中建材旗下，超薄电子玻璃、UTG基板熔融成型设备自研自产。 三、区分：玻璃基板材料厂≠设备厂（避坑） 以下企业是玻璃基板材料生产商，不生产设备，注意区分： 彩虹股份(600707)、沃格光电(603773)、京东方A(000725)、蓝特光学(688127) |
