一、机械刀片式晶圆划片机(封测主流Dicer) 1、光力科技300480【国产绝对龙头】 通过收购以色列ADT(全球第三大划片机厂商)+英国LP(空气主轴发明者),国内唯一能量产12英寸全自动双轴划片机; 覆盖6/8/12寸机械划片机,自研空气主轴+切割刀片,设备+耗材一体化,直接对标Disco; 客户:长电科技、通富微电、华天科技、晶方科技等头部封测厂; 同时布局激光开槽、晶圆减薄机。 2、博杰股份002975 子公司博捷芯自研8/12英寸全自动机械划片机; 国产第二梯队,机型持续在晶圆厂、封测厂验证导入。 补充:和研科技同样做机械划片机,但尚未上市。 二、激光划片机/激光隐形切割(先进工艺、薄晶圆、SiC) 1、大族激光002008 大族半导体:激光晶圆切割、激光隐切、Low-K开槽设备;LED划片设备市占领先,逐步向IC、功率半导体晶圆激光切割拓展;无传统机械刀片划片机。 2、德龙激光688170 主营紫外/皮秒激光微加工,激光晶圆划片、隐形切割设备; 应用:功率器件、SiC、超薄晶圆切割,主打激光路线,不做机械刀片划片机。三、容易混淆、不属于晶圆划片机的标的(避坑) 1.高测股份、宇晶股份:半导体硅片多线切割机(硅棒切成硅片)≠晶圆划片机(成品晶圆切割成单颗芯片),工艺完全不同; 2.大部分封测设备厂商(长川科技、华峰测控等)主营测试机,不生产划片机。快速总结 想买机械刀片式晶圆划片机核心标的:光力科技300480 激光划片/隐形切割赛道:德龙激光、大族激光 第二梯队机械划片机:博杰股份002975 |